長度測量工具：平晶
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具有兩個(或一個)光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規(guī)。光學測量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面?它能夠?生光波干涉條紋(見激光測長技術(shù))。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用於測量高光潔表面的平面度誤差?圖1a 平晶檢驗 平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測量平面度誤差的?故其測量方法稱為平晶干涉法(圖2 平晶干涉法 ) ?也稱技術(shù)光波干涉法。測量時?把平晶放在被測表面上?且與被測表面形成一個很小的楔角 ?以單色光源照射時會?生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直於被測表面?且平晶與被測表面間的間隙很小?則由平晶測量面P 反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P 發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下?則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直?相互平行?且分布均勻?則表示被測表面的平面度很好?如干涉條紋彎曲?則表示平面度不好。其誤差值為?式中為兩干涉條紋間距離?為干涉條紋的彎曲值?為光波波長?白光波長一般以0.6微米計算。
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